CCQ型气动超高真空插板阀技术参数

一、CCQ型气动超高真空插板阀概述：
   CCQ型气动超高真空插板阀是真空阀系列，通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀板作上下运动，达到阀门的开启或关闭。阀门用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。带反馈信号装置。
二、CCQ型气动超高真空插板阀技术参数：

适用范围	105～1.3×10-7Pa
阀门漏率	≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200)　≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250)
适用温度	- 30～+150℃
阀门开启时阀板两侧的压差	≤2.7×103Pa
气源压力	0.4～0.6MPa

三、CCQ型气动超高真空插板阀主要零件材料：

阀体、阀板	不锈钢
密封件	氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶